合肥科晶GSL-1100X-III-D11-8双管三温区管式炉

 

产品介绍：

GSL-1100X-III-D11-8是一款CE认证的三温区双管管式炉，其外管直径11英寸，内管直径8.5英寸，在加热管一端安装有一对高真空不锈钢法兰，法兰上安装有机械压力表和阀门，三个温区都是采用30段可编程PID数字温度控制器进行温度控制，采用K型热电偶进行测温，控温精度+/- 1 oC ，专门针对于用在金属箔上生长薄膜物质，如石墨烯、使用时把金属箔附在内管上。

双重石英管结构：

高纯石英管内炉膛表面涂有美国进口的高温氧化铝涂层可以提高设备的加热效率，同时也可以延长仪器的使用寿命

壳体结构：

采用双层壳体结构，并带有风冷，使得壳体表面的温度小于.  < 70°C.保温材料采用高纯氧化铝纤维，环保节能，可以更大程度的减少热量的损失.加热元件: NiCrAl电阻丝仪器中包含两个石英管塞，设备在加热前必须放入炉管内，防止热量以热辐射的形式散失如果使用内管进行薄膜的生长，那么更大可在8英寸的基片上

温控系统：

三个精密温度控制器，采用PID方式控温，并可设置30段升降温程序，每个温区可以进行独立控温控温仪表操作视频热电偶: 三根 K型omega原装热电偶，每个温区各一根控温精度: +/- 1°CSRC (Silicon Controlled Rectifier) power control  可选：PC控温软件，将温度曲线和程序导入到电脑中（另购）

真空密封法兰：

仪器中包含有一对不锈钢真空密封法兰，采用硅胶密封圈密封 真空度可以达到10^-2 torr（用机械泵）左侧法兰：包括 化学汽相淀积进气口和冷却气体in&out端口右侧法兰: KF40真空接口和， KF40真空阀门直接于KF-40波纹管和真空泵相连接，（如想泵和KF-25接口相连接，需要另购一个KF-40转KF-25接头）

加热区：

总加热区长度： 900 mm (36")三个温区: 300 mm + 300 mm + 300mm (12" per zone)恒温区长度: 500 mm（ 如果三个温区在同一个温度) 注：由于测量手段及外部环境的影响，测量结果可能会有偏差，此参数仅供参考不作为该设备的技术指标。您购买产品需要准确的恒温区数据，请与我公司销售人员联系

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技术参数：

石英管外管尺寸：279 O.D x 269 I.D x 1300mm Length (11" O.D x 10.6" I.D x 48" L),两端打开，可以连接法兰内管尺寸 :  216 OD x 206 IDx 750 mm Length (8.5"OD x 8.1"ID x30"L),一端封闭另一端连接到气体入口和出口.

工作温度更高工作温度：1100°C ( < 1 hour )

正常工作温度: 200~1000°C

更大升温速率& 降温速率: 10°C/min温度均匀性

电压：单相 220V AC, 50/60 Hz 包含电源线插头AWG 8#

更大功率：12KW (需50A空气开关)

外形尺寸：1300 L x 623 W x 940 H mm (51" L x 24.5" W x 37" H) (不包含真空法兰）

1670 L x 623 W x 940 H mm (66" L x 24.5" W x 37" H) (包含真空密封法兰)

净重：200kg

运输尺寸：70" x 70" x 65"

运输重量：500Lbs (227kg)

质保期：一年质保期，相关耗材除外，如炉管密封圈，加热元件等易耗件