合肥科晶OTF-1200X-4-RTP小型RTP炉

 

科晶OTF-1200X-4-RTP产品介绍：

OTF-1200X-4-RTP 是一款精巧型快速热处理管式炉，配有4" 石英管和真空法兰， 它是专为半导体或太阳能电池基片（更大达3“）的退火而设计，采用10KW红外灯管加热更快升温速度为 50°C/秒. 30 段温度控制，精度为 +/-1°C. 计算机通过RS485口和控制软件实时控制炉子和显示温度曲线 。

炉体结构：

带风冷的双层铸钢外壳使得炉体表面温度低于60℃

炉膛采用高纯的氧化铝纤维，更大程度上减少了热量的损失

不慎在加热过程打开炉盖，配备的连锁保护开关会自动切断电源

内炉膛表面涂有美国进口的高温氧化铝涂层可以提高设备的加热效率，同时也可以延长仪器的使用寿命

石英管和样品架：

 

石英管尺寸: 4.33" O.D x 4.05" I.D x 15" Length

3" 的样品架固定在滑动法兰上，石英材料

一片3"  AlN 片放在样品架上用来放置需要退火的样品。

AlN 具有很高的热导率，所以在样品放置的区域有很好的温度均匀性+- 5°C

选配水冷：

 

如果要求通冷却水.

请确定冷却水流速 ≥ 3L/min, 水温 < 20oC; 水压 > 25 PSI

我们建议采用 循环水制冷器作为冷却系统（为了节约用水）.

警告:  这款 RTP 炉在1000oC ~ 1100oC下保温时间不超过 600 秒，否则“ O”圈将被烧融

真空法兰：

 

带KF-D25 高真空法兰由不锈钢制作，两个高温“O”型圈密封

滑动法兰使装载样品很容易. 3" 样品架和内插式热偶保证了温度的准确。

可选真空度：

用机械泵真空度达 50 mtorr .

用分子泵真空度可达 10-4 torr

真空表标配：

 

标配：数字真空表，测量范围为10-4 -1000 Torr；在测量腔体真空度为10-4- 10-3Torr前必须进行零点校准，否则，显示真空度会有较大的偏差；LED数字式显示，显示单位分为torr 和mtorr；接口规格为1/8"NPT；CE认证；输入电压: 110V~220V。

注意：此表是在氮气下校准的，只有在氮气和空气下表上显示的是实际压力，当通入任何其他气体时，必须参考说明书中的相对气体对照表，否则后果会很严重。

 

 

免责声明：

本站产品介绍内容（包括产品图片、产品描述、技术参数等）仅供参考。可能由于更新不及时和网站不可预知的BUG造成数据与实物的偏差。如果您对参数有异议，或者想了解产品详细信息，请与本公司销售人员联系。本站提供的信息不构成任何要约或承诺，科晶公司会不定期完善和修改网站任何信息，恕不另行通知，请您见谅。

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科晶OTF-1200X-4-RTP技术参数：

温度：更高1100oC （长期1000°C）

加热元件：8 根红外灯管 (直径10 总长300 加热长度 200, mm）

加热区： 加热区长度12" ；恒温区长度4"（ +/-5°C ）

热偶：进口K 型热偶, 紧贴在放样品的AlN片下

电源：208-240 AC, 50/60 Hz 单相, 额定功率12KW (> 60A 保险)

更快升温速率： 室温~800℃： 50 oC/sec ，800℃~1000℃： 10oC/sec

 

更快降温速率： 60oC/min (在 200 mtorr下), 117oC/min (在一个大气压下)  选择:  为得到较快的降温速度 < 10°C/秒, 你可以选择带滑轨的 RTP 炉

流量计：范围： 16 - 160 ml/min

 

ID 自动控制，30段程序带过热和断偶保护功能

热偶: 进口K type

自整定功能

控温精度: +/- 1°C

RS485 串口和温控软件（模块和数据线需要另购）

温度控制：PID 自动控制， 可控硅 SCR

 

注意： 此炉可以增加镀SiC的石墨坩埚改造成RTE(快速热蒸发）炉

尺寸：760 X 330 X 530 mm (30"W x 13"L x 21" H)

质量：45 kg (100 lbs)

保 修期：电器部分一年质保期 (耗材：如炉管，“O”型圈和加热灯管等不在保修范围内）

 

认证： CE认证 所有电器元件（＞24V）都通过了UL/MET/CSA认证 若客户出认证费用，本公司保证单台设备通过德国TUV认证或CAS认证

 

科晶OTF-1200X-4-RTP使用注意事项：

炉管内气压不可高于0.02MPa

由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加较精确安全

当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态进

入炉管的气体流量需小于200SCCM，以避免冷的大气流对加热石英管的冲击

石英管的长时间使用温度＜1100℃

对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉管破裂，法兰飞出等）